2019 年 5 月，美国把华为拉进“实体清单”，台积电断供，麒麟 9000 瞬间成了绝唱。那一年，华为海思 7 纳米订单被迫停线，14 纳米的备胎芯片顶上来，功耗高、面积大的现实让 Mate 40 系列一机难求，利润蒸发掉 280 亿元。任正非后来回忆，只说了一句：“脖子勒出血痕，才知道空气多贵。”
血书摆在桌面，国家大基金二期 2041 亿元立刻开闸，上海微电子、新凯来、清华大学icon、中科院光电院全部压上。2025 年 8 月 10 日，人民日报证实：首台国产 EUV 光刻机正式进入试产，光源波长 13.5 纳米，套刻精度 1.5 纳米，与 ASML 的 NXE:3600D 处于同一代际。良率现在只有 35%，一片晶圆跑下来，能用的芯片不到四成，可没人敢等——华为昇腾 910C、寒武纪 MLU 370 都在排队，训练一次 1750 亿参数的盘古大模型就要烧掉 1.2 万片 7 纳米晶圆，时间窗口就是生命线。
幕后故事比电影更刺激。光刻机里那套激光诱导放电等离子体光源，是新凯来 300 人团队用 18 个月啃下来的。为了稳定锡滴每秒 5 万次的喷射频率，他们把实验室搬进地下 27 米的防空洞，震动控制在纳米级。镜头组由长春光机所和清华大学接力攻关，熔石英毛坯先拉到 2300 ℃，再经过 14 道离子束抛光，表面粗糙度做到 0.1 纳米，相当于把北京到上海的铁轨起伏磨到一根头发丝的万分之一。
为什么敢在良率 35% 时就上马？答案藏在数据里：一片 7 纳米 AI 芯片黑市报价 800 美元，国产 EUV 就算一次跑 500 片，也能把训练一次大模型的成本从 7.6 亿人民币砍到 2.9 亿。更重要的是，华为 2024 年 AI 服务器出货量 27 万台，全球第二，却只拿到英伟达icon 12% 的 GPU 配额。缺芯的卡脖子记忆太痛了，先用“不完美”的机器把产能抢回来，再慢慢磨良率，这是唯一解。
ASML 一台 EUV 现在卖 3.5 亿欧元，还附带 180 吨、10 万个零件、40 个集装箱的“政治套餐”。国产机把价格锁死在 1.2 亿美元以内，良率每提升 5%，客户名单就长一截。等到 2026 年爬过 70% 生死线，全球代工厂会重新排号，美国再拉清单也只能对着空气比划。
故事还没完。华为 Mate 70 搭载的麒麟芯片，通过 DUV 四重曝光跑出 7 纳米性能，功耗比 5 纳米高 18%，但已经让手机跑分冲进前三。任正非在松山湖实验室放话：“哪怕一次只能跑几百片，也足够先活下来。”芯片脖子上的绳，正在一寸寸被剪断。
