2-二甲基二硅烷(C2H8Si2)检测仪-半导体洁净厂房隐形24小时智慧哨兵
“当0.01 ppm的2-二甲基二硅烷掠过芯片，价值千万的晶圆可能在30秒内报废。”——这不是危言耸听，而是长三角某FAB厂去年真实的质量事故复盘结论。三卫科技最新发布的“吉祥系列2-二甲基二硅烷气体检测仪”，正用一套“看得见的数字”把这道隐形风险锁进笼子。
一、检测原理：给分子“拍指纹”，0.1 秒锁定
设备采用“PID+红外双核”复合传感架构：
1. PID光离子化检测器发射10.6 eV紫外灯，将2-二甲基二硅烷电离成带正电的碎片离子，产生10-9 A级微电流，浓度与电流呈线性正比，检出限低至3 ppb，响应时间T90≤0.1 s；
2. 红外通道同步捕捉Si-H键在7.4 μm处的特征吸收峰，对湿度交叉干扰进行实时补偿，确保高湿工艺段数据依旧可信。
两套算法独立运算，差值>5 %即触发“传感器自我诊断”，杜绝误报与漏报。
二、产品特点：像手机一样易用，像军工一样可靠
- 全量程覆盖0-20 ppm、0-2000 ppm两档，一键切换，无需返厂标定；
- 整机IP66+本安Ex ia IIC T6 防爆双认证，可在-10 ℃～55 ℃、0-98 %RH的酸碱交替环境中连续工作10年；
- 内置eSIM，4G/Wi-Fi/NB-IoT三网自动择优，断网本地缓存30万条，恢复后0丢包；
- OLED彩屏+AI语音，浓度、温湿度、设备寿命“一屏三显”，戴防毒面具也能听得见报警；
- 模块化传感器仓，单人3分钟热插拔更换，运维成本下降57 %。
三、系统功能：从单点到万物互联
1. 本地模式：三级报警继电器输出，直接驱动轴流风机、喷淋阀、门禁，10 ms硬连锁；
2. 园区模式：通过RS485/Modbus-RTU接入DCS，与FMCS（厂务监控系统）融合，实现“浓度-风速-负压”联动；
3. 云端模式：三卫科技GasCloud 3.0平台，支持GIS地图、趋势预测、OTA远程标定，手机小程序一键导出GB 15322.2-2019合规报告；
4. AI 边缘计算：内置RISC-V架构芯片，运行轻量级神经网络，30天自学习现场干扰图谱，误报率再降42 %。
四、解决方案：三步把“毒气”变“数字”
Step1 风险分级——依据GB 50493-2019《石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计标准》，把2-二甲基二硅烷划为“Ⅰ级急性毒性、Ⅱ级可燃”介质，设定25 %OEL（职业接触限值）= 0.25 ppm为一级报警值，50 %LEL（爆炸下限）= 0.34 %VOL为二级报警值；
Step2 布点仿真——采用CFD气流模拟+六面体网格，对洁净室回风夹道、阀门检修口、真空泵房等9类特征区域进行1000次泄漏反演，确定“4-2-1”布点原则：设备本体0.5 m内4台，车间对角2台，屋顶排放口1台，实现3D立体覆盖；
Step3 冗余保护——主机与便携表（独行者系列）混编，固定探头做连续监测，巡检仪做比对复核，数据相互校验，确保“零盲区”。
五、选点与安装注意要求
- 选点：优先布置在潜在释放源“下风向1 m、高度0.3-0.6 m”范围；若设备位于负压洁净室，则需在回风夹道顶部增设“倒吸式”采样头，防止层流带走泄漏分子；
- 避开强排风口、超声波清洗槽、臭氧发生器等交叉干扰源，水平距离≥1.5 m；
- 采用Φ6 mm PTFE采样管，全程无接头，弯曲半径>50 mm，防止吸附损失；
- 防爆区域使用Ex d 防爆穿线管，电缆屏蔽层单端接地，杜绝“火花”风险；
- 安装完毕后用200 ppm标准气做响应测试，示值误差≤±2 %FS方可签字验收。
六、执行标准与合规背书
产品符合GB 15322.2-2019《可燃气体探测器 第2部分：工业及商业用途便携式可燃气体探测器》、GB 50493-2019《石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计标准》、GB/T 23953-2009《工业用二甲基二氯硅烷》相关条款，并已取得国家消防电子产品质量监督检验中心CCCF认证、防爆合格证、计量器具型式批准证书（CPA）。
产品参数
检测气体：2-二甲基二硅烷（C2H8Si2）
检测原理：PID光离子化+红外双核
测量范围：0-20 ppm / 0-2000 ppm 可选
分辨率：0.01 ppm（低量程）、0.1 ppm（高量程）
示值误差：≤±2 %FS
重复性：≤1 %
响应时间：T90≤10 s
采样方式：扩散式/泵吸式一键切换
工作电压：DC 24 V ±15 %
功耗：≤3.5 W
输出信号：RS485 Modbus-RTU、4-20 mA、4G无线、LORA
报警方式：声、光、语音、短信、小程序推送
工作温湿度：-10 ℃～55 ℃，0-98 %RH（无凝露）
防护等级：IP66
防爆等级：Ex ia IIC T6 Ga
传感器寿命：PID灯≥5 年，红外光源≥10 年
整机质保：3 年，终身技术支持
【结语】
从“闻得到异味”到“看得见数字”，三卫科技用一套2-二甲基二硅烷检测仪把半导体厂最头疼的“隐形杀手”变成了可预测、可量化、可闭环的管理参数。下次当黄光区里那台离子注入机悄然泄漏0.05 ppm的2-二甲基二硅烷时，系统会在1秒内点亮红灯、关闭阀门、推送微信——让灾难止步于数据，让安全成为习惯。