光刻机及相关领域:我国高校三剑客 清华大学:牵头做出了光刻机的核心部件——双光件台; 华中科技大学:参与了双光件台的研究,独立研制出了光刻机减振器,附带把光刻胶从工艺到材料弄到全国产化了。 哈尔滨工业大学:完成了13.5纳米极紫外光源的研制。 其他高校在光刻机相关领域的研究成果,欢迎大家晒出来!



光刻机及相关领域:我国高校三剑客 清华大学:牵头做出了光刻机的核心部件——双光件台; 华中科技大学:参与了双光件台的研究,独立研制出了光刻机减振器,附带把光刻胶从工艺到材料弄到全国产化了。 哈尔滨工业大学:完成了13.5纳米极紫外光源的研制。 其他高校在光刻机相关领域的研究成果,欢迎大家晒出来!



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体育老师
感觉又是来给华科招黑的😂😂😂
加勒比海盗
13.5纳米光源意味着3纳米芯片!牛掰!