2025年业绩预增的“光刻机”概念股名单：
1. 珂玛科技：（300611）：预计2025年上半年净利润1.65至1.75亿元，同比增长18.5%至25.7%，其陶瓷零部件可用于上海微电子光刻机等。
2. 晶方科技（603005）：子公司ANTERYON为ASML提供光刻机光学涂层等，2025年上半年净利润预增36%至58.9%。
3. 江丰电子（300666）：未披露股票代码。2025年上半年净利润2.47至2.67亿元，同比增53.2%至65.7%，超高纯溅射靶材是光刻关键材料。
4. 凯美特气（002549）：光刻气产品通过ASML子公司Cymer认证，预计2025上半年净利润4500至6300万元，同比扭亏为盈。
5. 鼎龙股份icon（300054）：业务覆盖晶圆光刻胶及光刻机先进封装材料等，2025年上半年净利润预增33%至46%。
6. 海立股份（600619）：2025年上半年净利润同比增长625%-756%，独家供应上海微电子光刻机冷却系统。
7. 蓝英装备（300293）：工业清洗系统市占率超90%，纳米级高精度清洗设备icon可用于光刻工艺，2025年Q1毛利率29.24%，优于行业均值。
8. 东方中科（002819）：生产的电子偏转器是电子束光刻机的关键部件。
9. 路维光电（688401）：针对电子束光刻、干法刻蚀等技术开展相关研究，具备技术积累，或有机会参与到光刻机零部件供应或相关技术服务。
10. 茂莱光学（688502）：国内高精度光学器件龙头，是国内唯一可量产DUV光刻机投影物镜的企业，为上海微电子供应28nm DUV光刻机物镜组，国内市场占有率达62%，还成功中标ASML合作项目。2025年一季度营收1.42亿元，同比增长28.23%，净利润0.17亿元，同比大增288.73%，扣非净利润同比飙增455.51%，半导体业务占比提升至63.51%。
