数据显示，1月16日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购9149.33万元，位居当日股票ETF净流入排名61/1100。最新规模4.72亿元，前一日规模3.6亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为25.41%。

近5日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购6637.79万元，位居股票ETF净流入排名第154/1100。近10日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购1亿元，位居股票ETF净流入排名第149/1100。近20日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF(589020)获净申购4825.45万元，位居股票ETF净流入排名第207/1100。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）成立于2025年8月27日，基金全称为鹏华上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为鹏华科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模方面，截止1月16日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）最新份额为3.08亿份，最新规模为4.72亿元。回顾2025年12月31日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）份额为2.44亿份，规模为2.97亿元。即该基金今年以来份额增加26.21%，规模增加59.13%。

流动性方面，截止1月16日，鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）近20个交易日累计成交金额11.64亿元，日均成交金额5818.46万元；今年以来，10个交易日，累计成交金额8.63亿元，日均成交金额8625.74万元。

鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020）现任基金经理为林嵩。林嵩自2025年8月27日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益53.27%。

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF包括华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、科半导体（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

代码名称基金规模(亿元)20260116近1月日均成交额(亿元)净申购(亿元)20260116近1周净申购(亿元)近1月净申购(亿元)基金公司588170华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF62.567.389.8812.3714.79华夏基金588710科半导体16.362.001.362.995.39华泰柏瑞基金589020鹏华科创板半导体材料设备主题ETF4.720.570.910.660.44鹏华基金

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