中国又有一项技术世界领先了,那就是氟化硼酸铵(ABF)晶体。 中科院潘世烈团队研发的这种晶体创下三项世界纪录:158.9纳米波长刷新输出极限,4.8毫焦纳秒脉冲能量最高,转换效率达7.9%。随着工艺优化,这些参数还能提升,将为更多高端场景提供高性能光源。 这颗小晶体可藏着大战略价值,前沿科研上,它能帮科学家看清微观世界,推动超导、量子材料等基础研究突破;精密制造上,可以实现纳米级加工,这样就能搞定航空航天、高端医疗等领域的难题;而在信息技术上,也可以助力新一代空间激光通信,让卫星传数据更快更保密。 最让人期待的是,它给新型光刻机研发铺了新路!主流DUV(深紫外)光刻机(ArF浸没式光刻机)核心波长是193纳米,而ABF的158.9纳米更短,懂行的都知道,激光波长越短,光刻分辨率就越高,理论上就能造出更精密的芯片,帮咱们突破芯片制造的瓶颈。 最让人期待的是,它给新型光刻机研发铺了新路!主流DUV(深紫外)光刻机(ArF浸没式光刻机)核心波长是193纳米,而ABF的158.9纳米更短,懂行的都知道,激光波长越短,光刻分辨率就越高,理论上就能造出更精密的芯片,帮咱们突破芯片制造的瓶颈。



