【微导纳米】多款ALD和CVD设备获得重点客户验证和量产导入，核心产品Highk、金属化合物、硬掩膜等先进工艺设备的量产规模持续扩大，新产品与新技术市场渗透率稳步提升。2025年，微导纳米半导体设备收入为8.81亿元，同比增长169.12%，占主营业务收入的比重提升至33.50%。