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国内某企业搞定了高功率CO2气体激光器谐振腔的结构设计、高功率CO2放大器工作方

2026-08-07 10:49:15 机海风云社会

国内某企业搞定了高功率CO2气体激光器谐振腔的结构设计、高功率CO2放大器工作方法和CO2激光器内光路校准工艺的相关发明专利，LPP-EUV光源后级放大工程落地可期

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