同时布局光刻机+光刻胶的A股核心公司：•南大光电（300346）光刻胶：国内唯
同时布局光刻机+光刻胶的A股核心公司：•南大光电（300346）光刻胶：国内唯一量产ArF光刻胶（28nm），客户中芯国际、长江存储光刻机：子公司配ASML浸没式光刻机，用于光刻胶验证与测试•晶瑞电材（300655）光刻胶：g/i线、KrF量产，ArF小批量出货光刻机：自有g/i线、KrF、ArF光刻机用于研发/测试•彤程新材（603650）光刻胶：控股北京科华（KrF国内市占40%），ArF通过验证光刻机：与上海微电子合作开发光刻胶配方，适配国产光刻机•上海新阳（300236）光刻胶：g/i线、KrF量产，ArF/EUV在研光刻机：供应光刻机化学机械抛光、清洗、涂胶显影配套设备•鼎龙股份（300054）光刻胶：KrF/ArF量产线投产，30+款产品光刻机：为光刻机提供抛光垫、清洗耗材，配套光刻工艺•久日新材（688199）光刻胶：i线光刻胶+光引发剂（光刻胶核心原料）光刻机：子公司布局光刻机溶剂、光敏剂，适配紫外光刻•茂莱光学（688502）光刻机：供应投影物镜、照明光学组件（光刻机核心）光刻胶：光学组件决定光刻胶曝光精度，深度协同•新莱应材（300260）光刻机：真空/流体/密封件（光刻机关键配套）光刻胶：光刻胶输送/存储高纯设备，覆盖中芯、上海微电子•张江高科（600895）光刻机：参股上海微电子（国产光刻机整机龙头）光刻胶：投资光刻胶企业，打造光刻产业链生态公开资料梳理，不作投资建议
