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光刻机氢离子注入概念五大核心标的:1、先导基电(600641)股价:19.35元

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公元593年,古人制造了一座32吨的铁狮子,历经千年而不朽。一千四百多年前,

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高压电源提升刻蚀设备可靠性

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刻蚀设备年平均稼动率长期徘徊在88-92%之间,而偏置高压电源相关故障占全部停机时间的近四成,成为制约可靠性的最大单一因素。新一代高压电源通过材料、拓扑、保护、冗余与诊断五位一体的系统性设计,将电源本体的年故障率从2....