我国芯片领域又有新突破啦！近日，北大彭海琳教授团队有大成果。光刻技术是芯片制程微

欢迎来到我的直播间息 2025-10-28 03:50:01

我国芯片领域又有新突破啦！近日，北大彭海琳教授团队有大成果。光刻技术是芯片制程微缩的核心驱动力，而“显影”是光刻核心步骤，光刻胶在显影液中的运动影响芯片良率。可长期以来，光刻胶在显影液中的微观行为是“黑匣子”，工艺优化只能反复试错，制约7纳米及以下先进制程良率。 为解决难题，团队首次把冷冻电子断层扫描技术引入半导体领域，合成出分辨率优于5纳米的微观三维“全景照片”，克服传统技术痛点。这一突破能推动光刻等关键工艺的缺陷控制与良率提升，期待我国芯片产业借此更进一步！

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