荷兰光刻机巨头ASML表示，现在在美国的技术封锁下，中企想获取EUV光刻机几乎不

荷兰光刻机巨头ASML表示，现在在美国的技术封锁下，中企想获取EUV光刻机几乎不可能了，但是中国一直没有放弃，研发投入每年增速超过20%。 荷兰光刻机巨头ASML在财报里说得明明白白，在美国的技术封锁下，中国企业想拿到能造高端芯片的EUV光刻机，几乎是不可能的事，但他们没说的是，这道封锁线不仅没拦住中国，反而让中国的研发劲头更足了，每年砸在光刻机上的研发钱，增速都超过20%，硬是在绝境里走出了一条自己的路。 这EUV光刻机说起来不复杂，就是造高端芯片的“超级刻刀”，刀越锋利，能刻出来的芯片就越小、越精密。咱们平时用的智能手机，里面的芯片巴掌大的地方能装几十亿个晶体管，全靠它；新能源汽车里控制续航和动力的芯片，医院CT机里精准成像的核心芯片，还有天上卫星里抗干扰的高端芯片，都得用EUV光刻机才能造出来。没有这台机器，高端制造业就像缺了门牙的老虎，想发力都没辙。可全球就ASML一家能造EUV光刻机，美国早就盯上了这一点，从2019年就开始给荷兰施压，不让ASML把EUV卖给中国，后来变本加厉，连稍微先进点的DUV光刻机也限制出口，到最后甚至连已经卖给中国的光刻机，都不让ASML派人来维修，就是想让这些昂贵的机器慢慢变成废铁。中国最大的芯片厂中芯国际，2018年就花1.2亿美元订了一台EUV，结果到现在都没拿到货，只能眼睁睁看着台积电、三星用EUV造5纳米、3纳米芯片，自己只能先靠老设备顶着。 但中国从来没打算坐以待毙，既然买不来，就自己造。国家把光刻机纳入了重点攻关清单，地方政府也跟着配套资金，光是长三角就规划了12个研发中心，专项基金超过500亿。整个行业一下子热闹起来，两千多家公司扎进了半导体设备和材料领域，不光盯着光刻机整机，连光刻胶、掩模版这些小零件都不放过，非要把整条产业链都做完整。钱也跟着往里面砸，研发投入连续五年每年增速超20%，去年一年就花了800多亿，这股劲头比当年搞两弹一星还足。 上海微电子就是这场攻坚战的主力军，他们的研发团队三年里从800多人涨到1800人，里面博士占了三成，研发人员一年加班都超过600个小时。功夫不负有心人，他们的90纳米DUV光刻机早就量产了，现在国内八成的成熟制程芯片产线用的都是这台机器。更让人振奋的是，28纳米浸没式DUV光刻机也在2025年通过了中芯国际的验证，良率达到90%，马上就能批量交付，这台机器虽然不是EUV，但通过多重曝光技术，也能造出接近7纳米的芯片，而且价格只有ASML同类产品的三分之一，交货时间从一年缩短到三个月，一下子解决了国内芯片厂的燃眉之急。 核心部件的突破更让人提气，光刻机的“心脏”光源系统，以前被美国公司垄断，现在科益虹源造的高功率激光器已经量产，能量稳定性和寿命都达到国际水平，还比进口的省电15%、便宜20%；“眼睛”光学镜头，国望光学做的投影物镜，精度能控制在8纳米以内，已经装在国产光刻机上用了；就连最复杂的双工件台，国产机型的切换速度也达到了1.2米/秒，虽然比ASML的稍慢，但通过软件优化，产能差距已经缩小到10%。更前沿的EUV光源领域，哈工大已经研制出13.5纳米的极紫外光源，中科院的技术效率也接近商用水平，为后续研发铺好了路。 现在国产光刻机的市场份额也在快速增长，2020年的时候，国产DUV在国内的市占率还不足5%，到去年已经涨到了18%，北方华创、中微公司这些本土厂商的订单都排到2026年了。反观ASML，虽然还是行业老大，但中国市场的份额从以前的36%降到了27%，他们的高管都承认，没料到中国在DUV领域进步这么快。就连光刻胶这种以前全靠进口的材料，苏州有家公司的产品已经摆上了中芯国际的产线，彻底打破了国外垄断。 美国的封锁看似掐住了脖子，实则帮中国理清了思路，从以前想着融入别人的体系，变成了下定决心自己建体系。现在中国造芯片，不再盯着某一台EUV光刻机，而是打造了一个独立完整的产业生态，从零件到整机，从材料到设备，一步步实现自主可控。华为最新的麒麟9020芯片，性能比上一代提升30%，就是用国产设备和技术造出来的，这就是最好的证明。 ASML说中国拿不到EUV，但他们没看到，中国正在用每年超20%的研发增速，一点点补齐短板，用自己的“刻刀”雕刻属于自己的高端芯片未来。美国想靠封锁阻止中国发展，到头来只会发现，越是打压，中国越能爆发出惊人的力量，这道看似无解的封锁线，终将会被中国的研发实力彻底冲破。