10月31日路透社刚报道，荷兰正式启动2025年光刻机出口新规——不光直接禁了ASML向咱们出口DUV设备，管制范围还又扩大了，连敏感领域的新合作都一刀切禁止。 这消息一出来，半导体行业里不少人都炸了锅。要知道，ASML 的 DUV 光刻机可不是普通设备，咱们国内很多芯片制造企业，像中芯国际、华虹半导体这些，生产 14 纳米刀 28 纳米的芯片都得靠它。 之前荷兰虽然也对光刻机出口有限制，但主要针对的是更先进的 EUV 光刻机，DUV 设备还能通过申请许可出口，现在直接全面禁止，相当于断了不少企业的关键设备来源。 这次新规里说的 DUV 设备，具体指的是波长 193 纳米的沉浸式光刻机，这种设备是目前全球主流的成熟制程芯片生产工具。 2024 年，ASML 向中国出口了大概 30 台 DUV 光刻机，占其全球 DUV 设备销量的 18%，现在突然禁售，国内那些正在扩建 28 纳米产线的企业，比如中芯国际天津厂、华虹无锡厂，都得重新调整设备采购计划。有行业内部人士透露，某家企业原本订了 5 台 DUV 光刻机，已经付了定金，现在新规一出，订单直接被冻结，后续能不能拿到设备还是未知数。 更让人在意的是管制范围的扩大，新规不光禁了设备出口，连敏感领域的新合作都一刀切禁止。这里说的敏感领域，主要包括光刻机的维护保养、技术升级，还有相关零部件的供应。 之前 ASML 还会给中国客户提供设备维护服务，比如更换镜头、校准激光源这些，现在新合作全被禁止，哪怕是之前签过的长期维护合同，后续涉及技术更新的部分也得停了。 而且像光刻机里的关键零部件，比如高精度导轨、特种镜片，之前中国企业还能通过第三方渠道少量采购，现在新规把这些也纳入管制，连零部件供应都可能受影响。 ASML 对此也发了声明，说会严格遵守荷兰政府的出口规定，同时提到这次新规会影响大概 20% 的全球 DUV 设备订单，其中中国市场占比最大。 要知道，ASML 在 DUV 光刻机领域几乎垄断了全球市场，份额超过 80%，它一禁售，短期内很难有其他企业能补上这个缺口。比如日本的尼康、佳能虽然也生产 DUV 设备，但技术性能和产能都比不上 ASML，而且它们的设备主要针对更低端的制程，满足不了国内企业对 14 纳米、28 纳米制程的需求。 从行业影响来看，28 纳米芯片虽然不算最先进的，但应用范围特别广，像汽车电子、物联网设备、消费电子里的很多产品都得用它。 2024 年中国 28 纳米芯片的需求量大概是 800 万片晶圆，其中有 60% 得靠国内企业自己生产，而这些生产基本都依赖 ASML 的 DUV 光刻机。现在设备进不来，后续产能可能会受影响，进而推高相关芯片的价格，像新能源汽车的车载芯片、智能家居的控制芯片，都可能面临供应紧张的情况。 不过咱们国内也不是毫无准备，最近几年一直在加大对半导体设备的研发投入。比如上海微电子装备已经研制出了 90 纳米制程的 DUV 光刻机，虽然和 ASML 的 14 纳米制程设备还有差距，但也在逐步突破技术难关。 而且不少企业也在调整战略，一方面加大对成熟制程芯片的库存储备，另一方面和国内设备厂商合作，加速验证国产替代设备的性能。有消息说，中芯国际已经开始测试上海微电子的 DUV 设备，虽然还没大规模量产，但也算是有了新的方向。 荷兰这次出台新规，背后也有美国施压的影子。之前美国就一直游说荷兰、日本、韩国这些国家，要求它们加强对半导体设备和技术的出口管制，试图限制中国半导体产业的发展。这次荷兰直接禁了 DUV 设备出口，算是进一步跟进美国的战略。 但这样的做法，对 ASML 自身也有影响，失去中国这个大市场，ASML 的营收和利润都会受冲击，而且还可能倒逼中国加快国产替代的速度，从长期来看并不利于它的全球竞争。 现在行业里最关心的就是新规的具体实施时间和过渡期，路透社的报道里提到，新规会从 2025 年 1 月 1 日正式生效，没有设置过渡期，这意味着从明年开始，ASML 就不能再向中国出口任何 DUV 设备了。后续国内半导体企业如何应对这个困境，国产光刻机技术能不能加快突破，都是大家关注的焦点。 信息来源：路透社：《荷兰 2025 年光刻机出口新规正式启动 ASML 禁售 DUV 设备至中国》
