【东微电子重大突破 自研光刻机核心零件通过中芯国际、长鑫存储认证】日前，河南东微电子材料有限公司（以下简称"东微电子"）宣布，其自主研发的光刻机用直线电机、光源、光纤、磁座等关键零部件，正式通过中芯国际和长鑫存储严格认证。
东微电子表示，这不仅是一次技术突破，更是中国半导体产业链国产化进程中迈出的坚实一步。
据了解，2021年12月，国家五部门联合发布的《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录（2021年版）》明确将光刻机用直线电机列为关键“卡脖子”项目，直线电机的制造和生产技术对我国打破国外光刻机技术垄断具有重要意义。
面对技术封锁，东微电子组建技术攻坚团队，历经多年研究，对光刻机用关键零部件的特殊性能指标、极端使用环境和精密制备工艺发起全面攻关，对标国际顶尖，解决国产痛点。
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