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日媒:中国3年前申请绕过EUV造2nm芯片的专利,全球对手开始紧张

前沿导读据日经中文网发文指出,日经XTECH、日经ELECTRONICS根据日本专利调查公司Patentfield的专利
前沿导读

据日经中文网发文指出,日经XTECH、日经ELECTRONICS根据日本专利调查公司Patentfield的专利分析工具对中美芯片公司的技术专利进行了总体分析。

从整体的数据信息来看,中国企业在GPU、晶体管结构、芯片制造技术等多个领域开始对美国老牌企业穷追猛打,并且在先进技术领域提前进行技术布局,与美国、韩国等国家的企业展开持久性的未来竞争。中国企业在芯片产业上抢占技术制高点的决心,给国际企业造成了一种未知的恐惧感。

技术专利

日本机构拿美国重点制裁的华为,与美国的英特尔、英伟达以及韩国的三星进行对比。

在2019年的时候,华为在GPU领域的专利申请数量开始呈现出上升的趋势。到了2023年,华为的技术申请数量达到了3091项,对比2018年的数量增长幅度将近10倍,相当于英特尔的3倍、英伟达的5倍,但是远低于三星电子。

三星电子的大规模专利申请,与高带宽内存有直接关系。高带宽内存与GPU进行ai领域的协同工作,三星本身就是存储器业务的巨头,这种大规模技术申请的数量也标志着三星正在为以后的ai产业埋下技术伏笔。

在技术含量最高的晶体管和芯片制造领域,华为也是在缓慢的向前推进。

现阶段的国际芯片产业,一致认为想要将芯片技术推进到2nm的下一个时代,采用GAA晶体管结构是最直观的技术方案。

芯片的晶体管结构分为三个阶段,14nm以上的工艺采用平面晶体管结构,14nm及以下工艺使用胡正明开发的Fin FET晶体管结构,到了2nm及以下工艺,需要采用GAA晶体管结构。

在GAA结构的专利申请中,台积电毋庸置疑的成为了全球企业的老大。而华为则是在2018年开始布局,2023年的时候申请了大约20项相关专利。虽然数量不多,但是华为还在持续推进,这种在专利层面的循序渐进,也标志着中国企业正在进行未来2nm芯片的研究,与国际巨头打持久战。

在EUV以及光刻技术的专利申请上面,华为也在积极布局。由于美国的制裁封锁,中国本土企业无法获得先进的EUV光刻机,这极大制约了中国企业开发自主先进芯片的进度。

华为是最早一批被美国封锁芯片的企业,由于华为并未涉及芯片制造业务,所以华为空有设计能力,但是无法将芯片制造出来销售。这也在一定程度上迫使华为进入芯片制造领域,开始联合国内的老牌晶圆工厂解决先进芯片的制造问题。

技术路径

尽管中国被封锁了EUV光刻机,但是中国企业曾经采购了一批先进的浸润式DUV光刻机,这些DUV光刻机搭配先进的刻蚀机,再加上自对准多重图案化技术(SAQP)实现7nm芯片的制造。

根据前台积电研发副总裁林本坚在个人作品中表示,多重图案化技术对于套刻精度的要求很高,假设套刻的CD偏差为1.5%,如果该偏差无法得到有效的解决,那么其最终将会导致6阶的误差也就是8.4%,这对于芯片制造来说是致命的影响。

前台积电研发处长、前中芯国际董事杨光磊也在接受采访时表示,采用比EUV差一些的浸润式光刻机制造先进芯片,这是可行的方案,也是一条被验证过的方案。

但想要继续制造5nm甚至是更先进的芯片,理论上是可能的,不过良品率不可控,所投入的资源也不可控,这完全是一个技术无人区。尤其是对于华为这种毫无芯片制造基础的企业来说,这个难度就更大了,短时间内看不到成果,需要持续积累经验才有可能成果。

彭博社早在2024年就发布了相关报告,报告指出华为正在联合本土的芯片企业,在有限的设备下通过传统的技术方法尝试制造5nm芯片。这种方法无异于霸王硬上弓,目前在国际层面还没有企业能够成功。台积电、三星、英特尔均已经转向EUV技术,中国企业是目前唯一一个用DUV光刻机冲击5nm芯片的企业。

未来2nm芯片的结构将会从Fin FET过渡到GAA,晶体管内部的栅极四面包围着纳米片,因此会晶体管会获得更好的电流控制,尽量避免量子隧穿效应。

以现在的情况来看,华为已经在积极布局晶体管结构的技术专利,从底层的基础结构开始研发,逐步建立起一套属于中国企业的芯片产业链。在没有解决EUV光刻机的情况下,采用浸润式光刻机和自对准多重图案化技术依然是一个折中并且成熟的方法。

麒麟芯片的重新回归,标志着中国企业已经走通了采用多重图案化技术制造先进芯片的路线,下一步就是要继续降低供应链风险,实现芯片制造的可持续性发展。在保证供应链体系安全稳定的情况下,去尝试通过现有的技术设备制造全新晶体管结构的芯片。

参考资料:

评论列表

脱贫致富
脱贫致富 49
2025-12-10 07:13
加油中国企业!
芭乐
芭乐 31
2025-12-10 09:06
以后用3D打印机直接打印芯片,干成白菜价。

用户18xxx24 回复 12-11 14:59
这得小于纳米级的喷头了吧[笑着哭]

用户10xxx23 回复 12-13 13:13
对对对[点赞]无知才会说无知

用户16xxx55
用户16xxx55 19
2025-12-10 13:33
西方发达国家百年前采用强盗手段强取弱国财富,甚至抱团抢劫,过上幸福日子;近几十年又以高科技为媒介豪夺弱国财富,企图继续过醉生梦死的生活。

惜 夢 回复 12-10 23:51
现在,我们要用我们华夏民族的担当和责任,打破这种格局。

如歌
如歌 19
2025-12-10 14:20
台积电三星的两纳米制程工艺芯片已经量产,遥遥领先呢?PPT何时实现?

枯萎的野草 回复 12-10 15:23
太难了,华为对西方整个世界。还被宵小嘲笑。

nba1999 回复 12-10 14:40
国内正在追赶而不是像你这样靠嘴巴[呲牙笑]

无言独坐放眼尘世外
无言独坐放眼尘世外 12
2025-12-10 14:09
麒麟已经到顶了,下一步没路走了
如情意
如情意 12
2025-12-10 13:15
吹[呲牙笑][呲牙笑][呲牙笑]
股哥
股哥 12
2025-12-10 16:38
加油中国科技企业,我支持你们✊
用户10xxx83
用户10xxx83 9
2025-12-10 22:08
我30年前申请过0.0000000000000……1nm,至今没批下来,否则早就量产了[呲牙笑][呲牙笑][呲牙笑]
随便
随便 7
2025-12-10 18:24
很早以前的文章了吧,新凯来5nm光刻机早就公开出售了

李宗政 回复 12-16 16:34
如果是真的,还不把世界芯片的现状改写!

至尊 1 号
至尊 1 号 7
2025-12-12 00:26
从华为 mate 80 手机上市就看出华为芯片从回归到今天芯片强悍,追赶速度都是一下跨两代超速追赶👍特别是这代 9030pro 芯片玩游戏拍照还是真实还原度上真是非常强悍!再也不要相信国外说多少纳米,实际结构和框架在发生很大变化!下代华为 mate90 将是超越[点赞]
天马行空
天马行空 6
2025-12-11 10:34
需多重曝光技术来滿足显影,说明光源的光强度不够!以及镜头的分辨率需提高!其它则可相应提高精度既可!
用户16xxx16
用户16xxx16 5
2025-12-10 06:55
用户10xxx38
用户10xxx38 5
2025-12-11 09:49
2028年全面反超!
用户10xxx75
用户10xxx75 3
2025-12-13 03:20
相信王传福的话,芯片是人造的,不是神造的。
黄姥姥
黄姥姥 2
2025-12-11 09:47
宗教垃圾越是忽悠碰瓷越垃圾。

孤狼 回复 12-11 18:28
华为的芯片是你造出来的?

wang80411 回复 12-14 08:47
呱呱

用户10xxx51
用户10xxx51 2
2025-12-10 16:15
中国A工进程创新科技阔步向前赶超万西方科技。
懂畅玄学代言人
懂畅玄学代言人 2
2025-12-15 23:45
明年中国都出1nm了,你还在黑什么2nm[呲牙笑]
金木水火土
金木水火土 1
2025-12-15 22:42
小米应该是比纳米更小的米吧?
猛虎上山
猛虎上山
2025-12-16 07:22
刻蚀机大显身手!
一笑
一笑
2025-12-16 18:04
是28纳米光刻机,且是样机测试,调试还得一年以上,急不得
李宗政
李宗政
2025-12-16 16:33
按外行人的眼光,当时提出的光刻机厂就很靠谱。不知进度如何了。