据CNBC6月13日报道,尽管美国主导的技术封锁持续限制中国获取ASML最先进的极紫外(EUV)光刻机,中国芯片企业正通过替代技术与本土创新寻求突破。
ASML作为全球唯一EUV光刻机制造商,自2019年起被禁止向中国出口该设备,导致中芯国际等企业无法量产7纳米及以下先进制程芯片。
现在国内企业开始玩起"曲线救国",哈尔滨工业大学搞的那个"放电等离子体极紫外光源"有点意思。虽然现在功率还差点火候,但胜在成本低啊!这玩意儿要是真能顶上去,相当于自己搭了条新赛道,不用跟ASML在传统技术路线上死磕。听说这技术直接用等离子体放电产生光源,和传统激光轰击锡滴的方法完全不一样,搞不好能绕过老外的专利墙。不过也有行内人吐槽,说这技术现在连实验室阶段都没完全吃透,离量产还隔着十万八千里。但话说回来,当年盾构机、高铁不也是从零开始硬啃下来的么?
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